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能研8745 - 氣體流量控制器 (MFC)/流量測量儀的操作使用

更新時間:2024-05-22  |  點擊率:810

8745 型質量流量控制器/質量流量計適用于大量氣體的質量流量調控。8745 型設備可以根據需要配置為 MFM 或 MFC。

可以選擇校準四種不同的氣體。直接位于氣流中的 Inline 熱傳感器能夠達到非常快的響應速度。

一個直動式 Bürkert 比例閥作為執行元件,確保了良好的響應靈敏度。集成 PI 控制器,令 MFC 具備的控制特性。

8745 型作為 MFC 提供兩種規格:帶電磁比例閥和帶電動比例閥

以下是一份氣體質量流量控制器的一般使用說明:


一、安裝


1. 選擇合適的安裝位置,確保環境溫度、濕度等符合設備要求。

2. 按照設備手冊正確連接氣體入口和出口管路,注意密封良好。

二、預熱

在使用或長時間未使用后,需進行適當時間的預熱,以確保測量準確性。三、設置與操作

1. 通過控制面板或配套軟件設置所需的流量值。

2. 可根據需要選擇不同的單位(如 SCCM、SLPM 等)。

3. 確認設定的氣體類型與實際使用的氣體相符。

四、運行與監測

1. 開啟氣體供應,觀察流量顯示是否穩定在設定值附近。

2. 定期檢查顯示數值與實際需求是否一致。

五、維護與保養

1. 定期清潔設備表面,防止灰塵等雜質影響性能。

2. 按照規定的時間間隔進行校準,以保證測量精度。

3. 如發現故障或異常,應及時停止使用并聯系專業人員維修。

六、注意事項

1. 嚴格按照設備規定的壓力、溫度范圍操作。

2. 避免強烈震動和沖擊。

3. 對不同氣體可能需要特定的使用要求,務必遵循相關規定。



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